机械工程学院讲师，硕士生导师。

2009年本科毕业于山东大学机械设计制造及其自动化专业，2016年10月在大连理工大学机械制造及其自动化专业获得博士学位（硕博连读）。此后在合肥工业大学机械工程学院机械制造工程系工作。其中2022年9月至2023年9月在国家留学基金委的资助下以博士后身份到新加坡国立大学研修一年。

中国机械工程学会高级会员，教育部学位中心学位论文评审人，国家自然科学基金委评议人，在Surface Topography Metrology and Properties, Measurement Science and Technology, Materials Research Express, Frontiers of Mechanical Engineering, Precision Engineering等国际学术期刊发表或合作发表论文10余篇。主持国家自然科学青年基金、学术新人提升计划B项目、博士专项科研资助基金项目等3项。

研究方向：半导体加工制造、半导体测试技术、集成电路（IC）芯片制造及检测

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主持科研项目
[1] 国家自然科学青年基金项目(51805135)：基于硅片整体变形的磨削亚表面损伤定量评价方法研究。
[2] 学术新人提升计划B项目(JZ2023HGTB0249)：考虑磨粒叠加效应的单晶硅片磨削表面创成机理与损伤评价研究。
[3] 博士专项科研资助基金(JZ2017HGBZ0956)：非线性域残余应力作用下的硅片变形规律研究。

发表论文
[1] H. Liu, T. Yang, X. Tian, et al. Iterative method for obtaining nonuniform grinding-induced residual stress distribution of silicon wafers based on global deformation[J]. Materials Science in Semiconductor Processing. 2022, 150: 106971.(SCI 检索)
[2] H. Liu, T. Yang, J. Han, et al. Obtainment of Residual Stress Distribution from Surface Deformation under Continuity Constraints for Thinned Silicon Wafers[J]. Machines. 2021, 9(11): 284.(SCI 检索，Editor's Choice Article)
[3] H. Liu, M. Dai, X. Tian, et al. Modified Stoney formula for determining stress within thin films on large-deformation isotropic circular plates[J]. AIP Advances. 2021, 11(12): 125009.(SCI 检索，期刊封面论文与Featured Article)
[4] H. Liu, J. Zhou, J. Han, et al. Evaluation of polishing-induced subsurface damage based on residual stress distribution via measured global surface deformation for thinned silicon wafers[J].Surface Topography-Metrology and Properties. 2021, 9(3).(SCI 检索)
[5] H. Liu, J. Han, X. Tian, et al. Accurate determination of bifurcation points for ground silicon wafers considering anisotropy using FEM method[J]. Materials Research Express. 2019, 6(9): 95906.(SCI 检索)

授权发明专利
[1] 刘海军，周静，韩江，夏链，田晓青; 卢磊; 一种完全消除重力影响的薄基片变形测量装置，授权日期：2021-11-16，中国，ZL202010465671.0.
[2] 刘海军，杨涛，韩江，夏链，田晓青，卢磊;一种求解薄基片应力的方法，授权日期：2022-11-4，中国，ZL202110358535.6.
[3] 刘海军，许明贤，李双源，康强，吕广华，王健;一种基于人体体感温度的电热毯及其非线性调温方法，授权日期：2022-7-29，中国，ZL202110406205.X.
[4] 刘海军，杨涛，韩江，夏链，田晓青，陈珊;一种求解大变形薄基片应力的方法，授权日期：2023-7-18，中国，ZL202111559536.3.
[5] 刘海军，周静，韩江，夏链，田晓青;一种薄基片厚度方向残余应力分布获取方法，授权日期：2024-03-12，中国，ZL202111145152.7.

软件著作权
[1] 刘海军; 周静; 韩江; 夏链; 田晓青; 卢磊; 求解薄基片残余应力软件, 2021SR0738858, 原始取得, 全部权利, 2021-4-8.

获奖
[1] 2019年09月，获得合肥工业大学青年教师教学基本功比赛三等奖
[2] 2018年07月，获得合肥工业大学机械工程学院优秀班主任称号

团队名称： 现代集成制造与数控装备（CIMS）研究所
研究所网址：http://cims.hfut.edu.cn/

团队名称：现代集成制造与数控装备（CIMS）研究所

团队介绍：合肥工业大学现代集成制造与数控装备研究所（简称CIMS研究所）成立于1988年，其前身是成立于1984年的机械系CAM研究室，现下设：数控技术与数控机床研究室、智能制造与数字网络制造研究室、机器人控制与技术研究室、增材制造（3D打印）研究室和数控实验室、齿轮精密制造实验室、口腔生物医学工程实验室。CIMS研究所同时又是安徽省数控系统开发中心挂靠单位、安徽省机床工具协会副理事长单位，安徽省数字化设计与制造重点实验室主要部分，国家级实验教学示范基地“合肥工业大学机械工程实验中心”重要部分，与企业共建安徽省数控锻压装备工程（技术）研究中心、安徽省数控重型切削机床工程技术研究中心、安徽省数控系统与多面体机床工程技术研究中心、安徽省高端医疗器械工程研究中心、安徽省加工中心工程技术中心、安徽省包装机械工程技术中心等。
网址：http://cims.hfut.edu.cn/