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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
教师拼音名称：liuhaijun
入职时间：2016-10-24
所在单位：机械制造工程系
学历：研究生(博士)毕业
性别：男
学位：工学博士学位
在职信息：在职
毕业院校：大连理工大学
学科：机械设计及理论
机械电子工程
机械工程其他专业
机械制造及其自动化
A new method for measuring the flatness of large and thin silicon substrates using a liquid immersion technique
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发表刊物：Measurement Science and Technology
合写作者：Dong Zhigang,Huang Han,Kang Renke,Zhou Ping
第一作者：Liu Haijun
论文类型：期刊论文
是否译文：否
发表时间：2015-10-09
收录刊物：SCI