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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
教师拼音名称：liuhaijun
入职时间：2016-10-24
所在单位：机械制造工程系
学历：研究生(博士)毕业
性别：男
学位：工学博士学位
在职信息：在职
毕业院校：大连理工大学
学科：机械设计及理论
机械电子工程
机械工程其他专业
机械制造及其自动化
Evaluation of polishing-induced subsurface damage based on residual stress distribution via measured global surface deformation for thinned silicon wafers
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DOI码：10.1088/2051-672X/ac1047
发表刊物：Surface Topography: Metrology and Properties
合写作者：Zhou Jing,Tian Xiaoqing,Han Jiang,Chen Shan,Lu Lei
第一作者：Liu Haijun
论文类型：期刊论文
论文编号：035001
卷号：9
期号：3
是否译文：否
发表时间：2021-07-07
收录刊物：SCI