个人简介
陈创创，博士，硕士生导师。2015—2024 年先后在 Intel、华为、御微及华中科技大学等先进 ICT头部 企业与科研院所从事 集成电路纳米结构计算光学测量理论与关键技术研究。期间主导多款ICT智能制造装备、 DUV/EUV 光刻掩模与晶圆缺陷检测装备的研制与量产，相关产品已在伟创力、富士康、台积电、中芯国际、长鑫存储等多家先进 ICT 制造工厂实现规模部署，累计交付超过千台套。
2024 年加入合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，现主要从事计算光学测量与IC制造纳米测量前沿理论、关键技术与仪器装备开发的研究工作。相关研究成果多次被Nature, Light，中国光学工程学会等多家国内外行业媒体及门户网站关注报道。担任Science advances等学术期刊审稿人。
主持包括国家自然科学基金、安徽省创新攻坚计划、安徽省自然科学基金、安徽省重点实验室自主创新专项等多项国家级与省部级科研项目与多项ICT高端制造关键技术攻关横向课题。
教育经历
[1] 2020.10-2024.6
华中科技大学
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机械电子工程
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博士学位
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博士
研究方向为IC制造先进节点下EUV光刻掩模叠层衍射计算成像缺陷检测技术与装备研究
工作经历
[1] 2019.4-2020.9
上海御微半导体技术有限公司
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IC制造量检测装备研发部
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高级工程师、硬件系统工程师
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主导DUV光刻掩模、光刻晶圆缺陷检测装备研制与量产，累计服务台积电、中芯国际等国际先进Fab厂商200台套...
[2] 2016.7-2018.12
华为上海研究所
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消费者BG
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智能制造装备研发工程师
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主导消费者BG多款智能制造装备研制与量产落地，支撑Mate系列旗舰机型DFX过程E2E量产交付。
[3] 2014.9-2016.4
英特尔中国
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全球创新实验室
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见习研究员
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主导Fab68非易失性存储芯片制造过程前道工艺良率优化，研究成果成功参展IDF2016英特尔全球开发者大会