陈创创
个人信息
Personal information
教师拼音名称：Chen Chuangchuang
电子邮箱：
入职时间：2024-09-09
所在单位：光电信息科学与工程系
学历：博士研究生毕业
办公地点：合肥工业大学科技楼603
性别：男
学位：博士学位
在职信息：在职
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个人简介
Personal profile
陈创创，博士，硕士生导师。2015—2024 年先后在 Intel、华为、御微及华中科技大学等先进 ICT头部 企业与科研院所从事 集成电路纳米结构计算光学测量理论与关键技术研究。期间主导多款 DUV/EUV 光刻掩模与晶圆缺陷检测装备的研制与量产，相关产品已在台积电、中芯国际、长鑫存储等多家先进 IC 制造工厂实现规模部署，累计交付超过 200 台套。2024 年加入合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，现主要从事计算光学测量与IC制造关...
教育经历
Education experience
- 2020.10 ~ 2024.6
- 华中科技大学 - 机械电子工程 - 博士学位 - 博士 - 研究方向为IC制造先进节点下EUV光刻掩模叠层衍射计算成像缺陷检测技术与装备研究
工作经历
Work experience
- 2019.4-2020.9
- 上海御微半导体技术有限公司 - IC制造量检测装备研发部 - 高级工程师、硬件系统工程师
主导DUV光刻掩模、光刻晶圆缺陷检测装备研制与量产，累计服务台积电、中芯国际等国际先进Fab厂商200台套。
- 2016.7-2018.12
- 华为上海研究所 - 消费者BG - 智能制造装备研发工程师
主导包含TP自动化贴装、超窄边框点胶、整机气密性测试在内的多款智能制造装备研制与量产落地，支撑Mate系列高端期间机型DFX过程E2E量产交付。
- 2014.9-2016.4
- 英特尔中国 - 全球创新实验室 - 见习研究员
主导Fab68非易失性存储芯片制造过程前道工艺良率优化，研究成果成功参展IDF2016英特尔全球开发者大会
社会兼职
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研究方向
Research focus
团队成员
Research group
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