陈创创
个人信息
Personal information
教师拼音名称：Chen Chuangchuang
电子邮箱：
入职时间：2024-09-09
所在单位：光电信息科学与工程系
学历：博士研究生毕业
办公地点：合肥工业大学科技楼603
性别：男
学位：博士学位
在职信息：在职
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个人简介
陈创创，博士，硕士生导师。2015—2024 年先后在 Intel、华为、御微及华中科技大学等先进 ICT头部 企业与科研院所从事 集成电路纳米结构计算光学测量理论与关键技术研究。期间主导多款 DUV/EUV 光刻掩模与晶圆缺陷检测装备的研制与量产，相关产品已在台积电、中芯国际、长鑫存储等多家先进 IC 制造工厂实现规模部署，累计交付超过 200 台套。
2024 年加入合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，现主要从事计算光学测量与IC制造关键装备开发的研究工作。相关研究成果多次被Nature, Light，中国光学工程学会等多家国内外行业媒体及门户网站关注报道。担任Science advances等学术期刊审稿人。
主持包括国家自然科学基金、安徽省自然科学基金、安徽省重点实验室自主创新专项在内的多项国家级与省部级科研项目。