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课程介绍：《薄膜物理与技术》是微电子学相关专业的一门重要的专业课程，其任务是系统介绍薄膜制备技术及相关真空基础知识，要求掌握蒸发法、溅射法、离子镀、反应蒸发沉积、离子束辅助沉积等物理气相沉积技术和化学气相沉积技术的基本原理、工作特点、适用范围和常用装置；掌握薄膜的形成机理、结构以及薄膜厚度、形貌、结构和成分的表征方法，为后续从事相关领域的工程技术和科学研究工作奠定坚实的理论基础。

授课教师：于永强

开课学年：2016-2017

开课学期：秋学期

课程号：1011110X

学分：2.0

课程类型：本科生课程

是否精品课程：否

选课人数：90

课时：32.0