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  • 讲师
  • 教师拼音名称:tangfeixiang
  • 电子邮箱:
  • 所在单位:微电子学院
  • 学历:博士研究生毕业
  • 性别:
  • 学位:博士学位
  • 在职信息:在职
  • 毕业院校:武汉大学
研究方向
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芯片封装制造、半导体工艺建模仿、生物力学、脑机接口器件制备

1. 植入式MEMS微针的制备以及其生物力学、生物相容性研究

  • 研究内容:基于分子动力学和实验方法,探究植入式MEMS微针在生物组织中的力学行为、长期稳定性及生物相容性。

  • 应用领域:脑机接口(BCI)、神经探针、可植入医疗器件等。


2. 芯片制造与封装中的非线性工艺力学问题

  • 研究内容:针对MEMS传感器芯片、功率半导体(如IGBT)的制造与封装过程,研究热-力-电多物理场耦合作用下的材料变形、残余应力及可靠性优化。

  • 应用领域:先进封装技术(如晶圆键合)、半导体器件工艺优化。


3. 功能梯度材料与微尺度结构力学

  • 研究内容:结合修正偶应力理论(MCST),研究功能梯度材料(FGM)在微纳尺度下的振动、屈曲及热-力耦合行为。

  • 应用领域:航空航天微器件、柔性电子、微型传感器等。