研究内容:基于分子动力学和实验方法,探究植入式MEMS微针在生物组织中的力学行为、长期稳定性及生物相容性。
应用领域:脑机接口(BCI)、神经探针、可植入医疗器件等。
研究内容:针对MEMS传感器芯片、功率半导体(如IGBT)的制造与封装过程,研究热-力-电多物理场耦合作用下的材料变形、残余应力及可靠性优化。
应用领域:先进封装技术(如晶圆键合)、半导体器件工艺优化。
研究内容:结合修正偶应力理论(MCST),研究功能梯度材料(FGM)在微纳尺度下的振动、屈曲及热-力耦合行为。
应用领域:航空航天微器件、柔性电子、微型传感器等。