面向集成电路先进制程的电子级二氯硅烷工艺开发
点击次数：
项目来源单位：安徽省科技厅
成果形式：新技术、新工艺
项目来源：省、市、自治区科技项目
项目级别：省部级
学科门类：工学
资助额度(万元)：30.0
博士生导师 硕士生导师
出生日期：1981-01-01
电子邮箱：
入职时间：2012-09-01
所在单位：高分子系
学历：博士研究生毕业
办公地点：升华楼729室
性别：男
联系方式：yyzhu@hfut.edu.cn
学位：博士学位
在职信息：在职
毕业院校：中国科学院上海有机化学研究所
面向集成电路先进制程的电子级二氯硅烷工艺开发
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项目来源单位：安徽省科技厅
成果形式：新技术、新工艺
项目来源：省、市、自治区科技项目
项目级别：省部级
学科门类：工学
资助额度(万元)：30.0