个人简介
教授，博士生导师（学术博导、工程博导），本科、硕士毕业于合肥工业大学，博士毕业于东南大学。现任合肥工业大学集成电路创新学院党委书记，安徽省MEMS工程技术研究中心主任，合肥工业大学电子信息专业学位委员会委员。
在Microsystems & Nanoengineering、IEEE Sensors Journal、IEEE Electron Device Letters、IEEE Transactions on Electron Devices、Sensors & Actuators以及《真空科学与技术学报》、《中国机械工程》等国内外核心期刊发表论文100余篇，获授权发明专利30余项，获省部级科技奖一等奖1项，二等奖1项。相关研究成果被编著于微米纳米系列丛书《微米纳米器件测试技术》和国际著名出版机构Springer出版的《Micro Electro Mechanical Systems》。是《传感技术学报》、《仪表技术与传感器》和《半导体光电》等期刊编委，是多个序列国家级/省部级项目评审专家。
其他联系方式
邮箱： 1957754de4472e66adff23f7344e2d7ba83f17499e8bce761bddfd07af93828f841ddb22d05a2b6b86bf65555beab15bebde76aebb9fba4afc42484621ddfe4479b32e26a62659f3e45e861aab5a8193f954155704a9437c6f3034ff0973162c28a15e34311fb59276d6b80298c780922bda86eabf9823577387f449970e9654
办公室电话： 1b29d3abe1ec09c9952e873bcbbd014ca1b668a9e04f033d1ee77ee95efed9fe0f0511cda6000432d3bce03f8918c6460426944560bedf9748e1f2ede83ab7d89ae7bff3508526c463cd5e39b4b57102e4e7205c37c5bfefa58a876a691f17070ce9e874c51b5497b04124f3a21b3f9a1b02b542ed183783f47b83d7cf369b8f
