一种基于多波长成像的硅晶圆无损双面检测设备
点击次数：
所属单位：合肥工业大学
申请专利人：合肥工业大学
发明设计人：王莉,曹璐,张爽,胡轶航,冯熠
专利类型：实用新型
专利状态：授权
申请号：ZL202223207992.4
授权号：CN218766592U
发明人数：5
是否职务专利：否
申请日期：2022-11-30
公开日期：2023-03-28
授权日期：2023-03-28
第一作者：王莉
硕士生导师
出生日期：1977-12-05
所在单位：电子科学系
学历：研究生(博士)毕业
性别：女
联系方式：wlhgd@hfut.edu.cn 13856077125
学位：博士学位
毕业院校：中国科学院固体物理研究所
学科：微电子学与固体电子学
一种基于多波长成像的硅晶圆无损双面检测设备
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所属单位：合肥工业大学
申请专利人：合肥工业大学
发明设计人：王莉,曹璐,张爽,胡轶航,冯熠
专利类型：实用新型
专利状态：授权
申请号：ZL202223207992.4
授权号：CN218766592U
发明人数：5
是否职务专利：否
申请日期：2022-11-30
公开日期：2023-03-28
授权日期：2023-03-28
第一作者：王莉