合肥工业大学主页平台管理系统 huangwen--Home-- 微电子器件与工艺基础

黄文

Researcher

Supervisor of Doctorate Candidates

Supervisor of Master's Candidates

School/Department:微电子学院

Education Level:With Certificate of Graduation for Doctorate Study

Gender:Male

Degree:Doctoral degree

Status:Employed

Alma Mater:伊利诺伊大学香槟分校

Team Member

Teaching Information

Current position: Home > Teaching Research > Teaching Information

微电子器件与工艺基础

Release time:2024-01-31 Hits:

Course Introduction:通过本课程的学习，使学生对半导体器件和半导体集成电路的制造工艺及原理、工艺设备及工艺流程建立一个较为基础和全面的概念，并具有一定的简单器件结构分析、设计以及解决工艺问题的能力。主要讲授内容包括：半导体物理基础；半导体器件物理基础：PN结、双极型器件物理、场效应器件物理；集成电路工艺基础：扩散和离子注入两种掺杂技术；外延和氧化、PVD、CVD等薄膜生长技术的原理、工艺过程和影响质量的诸多因素；光刻和刻蚀微细图形转移技术；标准CMOS及双极工艺流程及集成电路工艺生产汇总等问题。并简单介绍了工艺集成技术和工艺技术的发展趋势等问题。

Schedule:2024-03-01:翠八教311;2024-03-05:翠八教311;2024-03-08:翠八教311;2024-03-12:翠八教311;2024-03-15:翠八教311;2024-03-19:翠八教311;2024-03-22:翠八教311;2024-03-26:翠八教311;2024-03-29:翠八教311;2024-04-02:翠八教311;2024-04-05:翠八教311;2024-04-09:翠八教311;2024-04-12:翠八教311;2024-04-16:翠八教311;2024-04-19:翠八教311;2024-04-23:翠八教311;2024-04-26:翠八教311;2024-04-30:翠八教311;2024-05-03:翠八教311;2024-05-10:翠八教311;2024-02-27:翠八教311

Teacher:黄文

School Year:2023-2024

Semester:Spring Term

Course number:2010642B

Credits:3.0

Course Type:Undergraduate Course:

Top-Quality Courses or Not:no

Maximum Number of Students:46

Required Class Hours:40.0

Next One:微电子科学与工程专业新生研讨课