真空薄膜与制备技术
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课程介绍：本课程为真空专业专业基础课，它全面系统地介绍了各种真空镀膜原理、特点及其应用。主要内容包括真空镀膜定义、薄膜生长，真空蒸发、溅射镀膜，等离子体离子镀，电弧离子镀，化学气相沉积等多种真空镀膜原理、系统及主要组成元件结构，特点及工艺。通过本课程的学习，使学生掌握一般真空镀膜方法，并能够根据具体情况，选择合适的镀膜方法，制定相应的工艺路线，为后续的毕业设计奠定坚实的基础。
上课时间：2022-09-01:主楼402*;2022-09-19:主楼402*;2022-09-12:主楼402*;2022-10-03:主楼402*;2022-10-06:主楼402*;2022-09-05:主楼402*;2022-09-26:主楼402*;2022-09-29:主楼402*;2022-09-08:主楼402*;2022-09-15:主楼402*;2022-08-29:主楼402*;2022-09-22:主楼402*;2022-10-13:主楼402*;2022-10-10:主楼402*
授课教师：方应翠
开课学年：2022-2023
开课学期：秋学期
课程号：0212150X
学分：2.0
课程类型：本科生课程
是否精品课程：否
选课人数：76
课时：32.0